|
|
|
| |
 |
HOME> 기술자료>
특허기술자료1 |
|
| |
 |
| |
|
| 발명효과 |
|
|
|
 |
본 발명에 의한 세정 및 코팅제, 이를 이용한 표면처리 방법 및 이러한 방법으로 처리된 장치는 산화물 등의 오염물질이 있는 대상물 또는 오염될 가능성이 있는 대상물에 대해서는, 세정, 솔더(도금), 코팅 등에 의해 매우 효과적인 표면처리를 할 수 있고 표면처리 후에도 쉽게 더러워 지지 않게 하는 기술을 포함하고 있어서, 반도체 장치등에 사용되는 도전 금속 부재의 표면처리 기술을 혁신적으로 개선할 수 있다. 또한 본 발명에 따르면, 많은 추가 비용을 들지 않고 좀 더 간단 명료하고 합리적인 처리장치 또는 공정을 사용해서 효율적이고 단시간에 깨끗하게 친환경적인 표면처리 기술을 제공할 수 있다. (특허출원서중 발명의 효과부분) |
|
|
|
|
|
|
|
